GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
- 文件大小：520KB
- 标准类型：国家标准
- 标准语言：简体中文
- 授权形式：免费标准
- 文件类型：PDF格式
- 安全检测：瑞星、江民、卡巴、可牛：安全
- 更新时间：2015-10-11
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资料介绍
标准编号：GB/T 15909-2009
简体名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
繁体名称：電子工業用氣體 矽烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry—Silane
标准简介：
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。